隨著計算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動電子制造業(yè)飛速發(fā)展的同時，也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時對潔凈室的設(shè)計提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項(xiàng)綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點(diǎn)，做到設(shè)計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。
電子制造業(yè)廠萬級潔凈室廠房特點(diǎn) :
潔凈度等級要求高 , 風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控 , 照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成 CMOS 集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在 22 ℃ 左右，相對濕度控制在 50-60% 之間 ( 特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定 ) 。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
● 電子制造廠萬級無塵車間內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于 65dB(A)
● 電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應(yīng)小于 60% ，水平單向流無塵車間不應(yīng)小于 40% ，否則就是局部單向流了。
● 電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于 10Pa ，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于 5Pa
● 電子制造行業(yè)萬級無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值：
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給無塵車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3 。
電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護(hù)，若采用點(diǎn)加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)大值：
● 保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量：
● 根據(jù)熱，濕負(fù)荷計算確定電子廠無塵車間的送風(fēng)量：
● 向電子制造廠無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量：
電子無塵車間凈化原理：
氣流 → 初效空氣過濾器凈化 → 空調(diào) → 中效空氣過濾器凈化 → 風(fēng)機(jī)送風(fēng) → 管道 → 高效空氣過濾器凈化風(fēng)口 → 吹入房間 → 帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗 → 初效空氣過濾器凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。
電子無塵車間參數(shù)：
● 換氣次數(shù)： 100000 級 ≥15 次； 10000 級 ≥20 次； 1000≥30 次。壓差：主車間對相鄰房間 ≥5Pa
● 平均風(fēng)速： 10 級、 100 級 0.3 － 0.5m/s ；溫度 冬季＞ 16 ℃ ；夏季 <26 ℃ ；波動 ±2 ℃ 。
● 溫度 45 － 65 ％；高標(biāo)準(zhǔn)粉劑車間濕度在 50 ％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
● 噪聲 ≤65dB （ A ）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的 10 ％－ 30 ％；照度 300LX 。
